[正版] 计算光刻与版图优化 集成电路技术丛书 韦亚一 光刻模型分辨率增强技术刻蚀效应修正可制造性设计 电子技术书籍
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超大规模集成电路先进光刻理论与应用 韦亚一 著 专业科技 文轩网
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[正版]精装超大规模集成电路先进光刻理论与应用韦亚一光刻技术概述匀胶显影机及其应用投影式光刻机的工作原理掩模板及其管理
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