[正版]CMOS芯片结构与制造技术 微电子专业高年级本科生的参考书 工农业技术电子通信类书籍电子工业出版社[凤凰书店]
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芯片制造——半导体工艺与设备 陈译,陈铖颖,张宏怡 编 专业科技 文轩网
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第三代半导体技术与应用(中国芯片制造系列) 姚玉,洪华 著 专业科技 文轩网
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硅基集成芯片制造工艺原理 李炳宗,茹国平,屈新萍,蒋玉龙 著 专业科技 文轩网
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芯片制造厂房建设全生命周期管理模型理论与实践 张岚 等 著 专业科技 文轩网
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