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集成电路芯片制造工艺 共3册 集成电路制造工艺与工程应用+芯片制造半导体工艺与设备+半导体芯片和制造理论 机械工业出版社
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[正版]集成电路科学与技术丛书 功率半导体基础与工艺精讲+半导体制造设备基础与构造精讲+半导体元器件精讲+一本书读懂芯
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音像芯片制造——半导体工艺与设备陈译陈铖颖张宏怡
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