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芯片制造——半导体工艺与设备 陈译,陈铖颖,张宏怡 编 专业科技 文轩网
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第三代半导体技术与应用(中国芯片制造系列) 姚玉,洪华 著 专业科技 文轩网
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硅基集成芯片制造工艺原理 李炳宗,茹国平,屈新萍,蒋玉龙 著 专业科技 文轩网
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图解芯片制造技术 吴元庆,刘春梅,王洋 编 专业科技 文轩网
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