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集成电路制造工艺与工程应用 温德通 著 专业科技 文轩网
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电子产品制造工艺多场多尺度建模分析(英文版) 李辉 等 著 专业科技 文轩网
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半导体制造工艺控制理论 王少熙 等 著 专业科技 文轩网
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